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分子束外延MBE是一种晶体生长技术,首先将待成长的芯片放置在超高真空腔体中（~10-10Torr）,和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中,当炉温升至一定温度时,炉中的材料会以原子束或分子束的形式蒸发出来,此时基板也被加热至一适当的温度,分子束射至基板时,就会与基板表面的原子结合而生长出极薄的,可薄至单原子层水平,单晶体和几种物质交替的超晶格结构.

描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.用客户案例:某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,经过爱发科推荐,采用分子泵和涡轮分子泵80并搭配美国HVA真空闸阀成功分析生长晶体表面结构。

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵油池安装注意事项①、拆油②、油量控制③、油池卫生，防颗粒④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

3进出口法兰、冷却水安装①、泵入口：对正、对称拧紧②、泵出口：防止错位③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强：强制风冷

电缆安装注意事项①、对正槽口插入②、用螺母拧紧，边插边拧③、检查到位

5振动隔离、冲击防护

1分子泵振动，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便很大可能的减少振动。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

气体振动（气量突变、压强突变）

意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

6大气载、热气体、突变气载

a引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效b.措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。

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